Оборудование сверхчистой воды EDI для производства полупроводниковых чипов

1. Обзор проекта

Название проекта: Производство полупроводниковых чипов с Оборудование для сверхчистой воды EDI

Характер проекта: Проектирование систем сверхчистой воды

Срок проекта: 20 дней

Статус проекта: Завершен

2. Введение в проект

XiuZheng Semiconductor Factory в основном занимается жидкокристаллическими дисплейными материалами, электролюминесцентными материалами OLED, продукция в конечном итоге используется в TFT-LCD, PDLC, OLED и других новых областях производства дисплеев и инновационных сырьевых материалов. При производстве чипов заготовка и вода будут иметь прямой контакт, чипы в процессе следовых пятен необходимо промывать, поэтому качество сверхчистой воды должно быть гарантировано, в противном случае, если очищающая вода содержит примеси, она будет производить накипь, влияющую на выход чипов. Для очистки чипов необходимо использовать высокочистую воду.

3. Анализ спроса

Сырьем для производства чипов служит высокочистый кремний, который многократно разрезается на 6-дюймовые, 12-дюймовые, 18-дюймовые и другие пластины, для изготовления которых требуются сотни этапов, и неважно, сколько раз необходимо нарезать, чтобы удовлетворить требования к очищающей воде, используемой для производства чипов.

В целом, Министерство электронной промышленности Китая разработало технические стандарты качества воды электронного класса (пять уровней стандартов: 18 МОм-см, 15 МОм-см, 10 МОм-см, 2 МОм-см, 0,5 МОм-см).

4. Индивидуализация решения.

В соответствии с исходным качеством воды, полученным в результате обследования объекта, технологический процесс выглядит следующим образом:

5. Коммерческая ценность

Благодаря постепенному вниманию правительства к развитию индустрии производства микросхем в последние годы, а также влиянию внутренних и внешних факторов, отечественная индустрия производства микросхем переживает бурный рост, поскольку требования к качеству воды в процессе производства микросхем чрезвычайно высоки, сообщает EDI. система сверхчистой воды высок и высок.

6. Фото кейса проекта