EDI-Reinstwasserausrüstung für die Halbleiterchip-Produktion

1. Projektübersicht

Projektname: Halbleiterchipproduktion mit EDI-Reinstwasserausrüstung

Projektart: Reinstwassersystemtechnik

Projektlaufzeit: 20 Tage

Projektstatus: Abgeschlossen

2. Projektvorstellung

Die XiuZheng Semiconductor Factory beschäftigt sich hauptsächlich mit Flüssigkristallanzeigematerialien und elektrolumineszierenden OLED-Materialien. Die Produkte werden letztendlich in TFT-LCDs, PDLCs, OLEDs und anderen Bereichen der Produktion neuer Displays und innovativer Rohstoffe eingesetzt. Bei der Chipherstellung kommen Werkstück und Wasser in direkten Kontakt. Die Chips müssen während des Prozesses von Flecken gereinigt werden. Daher muss die Qualität des Reinstwassers gewährleistet sein. Andernfalls bildet das Reinigungswasser, sobald es Verunreinigungen enthält, Kalkablagerungen, die die Chipausbeute beeinträchtigen. Zur Reinigung der Chips muss hochreines Wasser verwendet werden.

3. Bedarfsanalyse

Das Rohmaterial für die Herstellung von Chips besteht aus hochreinem Silizium, das viele Male bereitgestellt wird, bevor es in 6-Zoll-, 12-Zoll-, 18-Zoll- und andere unterschiedliche Wafer geschnitten wird. Bis ein Chip entsteht, sind Hunderte von Schritten erforderlich. Unabhängig davon, wie oft geschnitten wird, müssen die Anforderungen an das Reinigungswasser bei der Chipherstellung erfüllt werden.

Im Allgemeinen gelten die technischen Standards für die Wasserqualität in elektronischer Qualität des chinesischen Ministeriums für Elektronikindustrie (fünf Standardstufen: 18 MΩ-cm, 15 MΩ-cm, 10 MΩ-cm, 2 MΩ-cm, 0,5 MΩ-cm).

4. Lösungsanpassung.

Entsprechend der ursprünglichen Wasserqualität ist der Prozessablauf durch die Standortuntersuchung wie folgt:

5. Kommerzieller Wert

Mit der allmählichen Aufmerksamkeit der Regierung auf die Entwicklung der Chipindustrie in den letzten Jahren sowie dem Einfluss interner und externer Faktoren ist die inländische Chipindustrie sprunghaft angestiegen, da der Chipproduktionsprozess an die Wasserqualitätsanforderungen extrem hoch ist, EDI Reinstwassersystem ist hoch und hoch.

6. Projektfallfoto