반도체 칩 생산용 EDI 초순수 장비

1. 프로젝트 개요

프로젝트명 : 반도체 칩 생산 EDI 초순수 장비

프로젝트 성격: 초순수 시스템 엔지니어링

프로젝트 기간 : 20일

프로젝트 상태: 완료

2. 프로젝트 소개

XiuZheng 반도체 공장은 주로 액정 디스플레이 재료, OLED 전기 발광 재료에 종사하고 있으며, 제품은 궁극적으로 TFT-LCD, PDLC, OLED 및 기타 새로운 디스플레이 및 혁신적인 원자재 생산 분야에서 사용됩니다. 칩 제조 작업물과 물이 직접 접촉하게 되며, 칩의 공정에서 미량 얼룩을 세척해야 하므로 초순수의 품질을 보장해야 합니다. 그렇지 않으면 세척수에 불순물이 포함되면 스케일이 생성되어 칩 수율에 영향을 미칩니다. 고순도 물을 사용하여 칩을 세척해야 합니다.

3. 수요 분석

칩 제조에 사용되는 원자재는 고순도 실리콘으로 여러 번 공급된 후 6인치, 12인치, 18인치 등의 다양한 웨이퍼로 절단되며, 칩이 되기까지는 수백 개의 단계가 필요하지만, 몇 번 절단하든 칩 제조 세척수 요건을 충족해야 합니다.

일반적으로 중국 전자공업부에서는 전자급 수질기술기준(18MΩ-cm, 15MΩ-cm, 10MΩ-cm, 2MΩ-cm, 0.5MΩ-cm의 5단계 기준)을 정하고 있습니다.

4. 솔루션 사용자 정의.

원래 수질에 따라 현장 조사를 통해 프로세스 흐름은 다음과 같습니다.

5. 상업적 가치

최근 몇 년 동안 정부가 칩 산업 발전에 점차 관심을 기울이고 내부 및 외부 요인의 영향으로 국내 칩 산업이 급성장하고 있습니다. 칩 생산 공정에 대한 수질 요구 사항이 매우 높기 때문입니다. EDI 초순수 시스템 높고 높습니다.

6. 프로젝트 사례 사진